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Al₂O₃精密氧化铝陶瓷基片

氧化铝陶瓷基片具有良好的绝缘性、绝热性和耐磨性,因价格相对便宜,且其综合性能均衡,是应用范围最广泛的陶瓷材料之一
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产品描述
参数

氧化铝陶瓷基片具有良好的绝缘性、绝热性和耐磨性,因价格相对便宜,且其综合性能均衡,是应用范围最广泛的陶瓷材料之一。高纯(99.5%及以上)氧化铝耐腐蚀和耐等离子体刻蚀性能良好,被广泛应用在泛半导体设备中。

 

主要特征:                                                    

绝缘性、绝热性、耐磨性、耐腐蚀性、耐等离子体刻蚀性。

 

主要应用:

泛半导体设备(LCD和LED等制造设备)备件、绝缘件、耐磨件、通用机械、液压部件。

技术指标 :

 

主要成分含量

99%氧化铝

99.9%氧化铝

密度g/cc

3.86

3.93

吸水率%

0

0

机械特性

 维氏硬度GPa

13.8

18.5

 抗弯强度MPa

350

350

 抗压强度MPa

2250

2600

 杨氏模量GPa

330

380

 泊松比

0.23

0.23

 断裂韧性MPa·m1/2

3

4~5

热学特性

 线性膨胀系数40~400℃*10-6/℃

7.1

8.2

 热传导率20℃W/(m·K)

25

32

 比热J/(kg·K)*103

0.78

0.78

 抗热冲击能力 ℃

200

220

电学特性

 体积电阻率20℃ Ω·cm

>1014

>1015

 介电强度KV/mm

16

17

 介电常数

9

9.7

 介电耗损系数*10-4

3

1

关键词:
设备
绝缘性
氧化铝
热性
应用
耐磨性
半导体
广泛
等离子体刻蚀
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