碳化硅密封件

碳化硅材料具有高硬度、高耐磨性和耐化学腐蚀性。热传导率好,在高温下性能稳定,属于高温结构材料。

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详细描述

碳化硅材料具有高硬度、高耐磨性和耐化学腐蚀性。热传导率好,在高温下性能稳定,属于高温结构材料。

 

主要特征:                                                         

高硬度、耐磨、高导热性、高温下机械性能稳定、耐化学腐蚀性。

 

主要应用:

耐磨件、密封件、半导体设备部件、高温部件。

 

技术指标:

主要成分含量

碳化硅

密度g/cc

3.02~3.15

吸水率%

0

机械特性

 维氏硬度GPa

28.0

 抗弯强度MPa

380

 抗压强度MPa

3900

 杨氏模量GPa

410

 泊松比

0.14

 断裂韧性MPa·m1/2

4

热学特性

 线性膨胀系数40~400℃*10-6/℃

4.0

 热传导率20℃W/(m·K)

120

 比热J/(kg·K)*103

0.65

 抗热冲击能力 ℃

-

电学特性

 体积电阻率20℃ Ω·cm

102~106

 介电强度KV/mm

-

 介电常数

-

 介电耗损系数*10-4

-



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